《微納電子技術》雜志是統計源期刊。
《微納電子技術》雜志基本信息
《微納電子技術》于1964年創辦，全刊信息多卻有條有理，堅持打造交流思想和經驗共享的主流平臺，國內刊號為：13-1314/TN，創刊多年來受到許多讀者的支持和喜愛。
《微納電子技術》匯集了納米電子、機械、材料、制造、測量以及物理、化學和生物等不同學科新生長出來的微小和微觀領域的科學技術群體，通過報道國內外納米電子技術方面的研究論文和綜述動態。
雜志主要發文機構有哪些？發文量分別是多少？
| 機構名稱 | 發文量 | 主要研究主題 |
| 中國科學院 | 309 | 納米；光刻；晶體管；MEMS；傳感 |
| 中北大學 | 239 | MEMS；微電子；微電子機械；微電子機械系統；傳感 |
| 中國電子科技集團第十三研究所 | 225 | 微電子；微電子機械；微電子機械系統；MEMS；激光 |
| 河北工業大學 | 183 | CMP；化學機械拋光；機械拋光；拋光液；去除速率 |
| 上海交通大學 | 147 | 納米；微電子；微電子機械；微電子機械系統；MEMS |
| 太原理工大學 | 113 | 納米；傳感；感器；傳感器；氣敏 |
| 中國科學院微電子研究所 | 111 | 光刻；納米；電子束光刻；金屬；感器 |
| 清華大學 | 74 | 感器；傳感；傳感器；自旋；納米 |
| 專用集成電路與系統國家重點實驗室 | 60 | 隧穿；遷移率；共振隧穿；RTD；MEMS |
| 中國科學院大學 | 60 | 微電子；MEMS；微電子機械；微電子機械系統；納米 |
| 主題名稱 | 發文量 | 相關發文學者 |
| 納米 | 680 | 王太宏；張亞非；薛成山；鄒小平；相文峰 |
| 傳感 | 487 | 熊繼軍；梁庭；譚秋林；楊擁軍；張文棟 |
| 傳感器 | 459 | 熊繼軍；梁庭；譚秋林；楊擁軍；張文棟 |
| 感器 | 458 | 熊繼軍；梁庭；譚秋林；楊擁軍；張文棟 |
| MEMS | 390 | 楊擁軍；張國軍；張文棟；汪蔚；丑修建 |
| 微電子 | 303 | 楊擁軍；張國軍；張文棟；高楊；王任鑫 |
| 微電子機械 | 274 | 楊擁軍；張國軍；高楊；張文棟；王任鑫 |
| 微電子機械系統 | 272 | 楊擁軍；張國軍；高楊；張文棟；王任鑫 |
| 半導體 | 239 | 陳宏泰；楊紅偉；安振峰；張世祖；花吉珍 |
| 電路 | 204 | 李惠軍；蔡理；郭維廉；楊曉闊；牛萍娟 |
